Inficon AG: Anlage zum Löten von Sensorelementen

Das exakte Zusammenlöten der Drähte von Sensorelementen geschieht unter einem Referenzvakuum. Durrer entwickelte eine Anlage, die den Vorgang kontrolliert und automatisch steuert.

Die von Durrer entwickelte Anlage "SPUTNIK" erzeugt ein Referenzvakuum für die Sensoren und erhitzt diese auf die nötige Löttemperatur – mittels Temperaturrampe und Vakuumüberwachung. Beim Prozess werden zwei Drähte angelötet und die Öffnung zum Referenzvakuum verschlossen. Der exakt richtige Druck wird in vorgegebener Zeit erzeugt, überwacht und während des gesamten Prozesses gehalten. Wenn nötig, wird er während des Heiz- und Lötvorganges angepasst. Die Temperatur bleibt dabei gleichbleibend homogen.

  

Die Anlage ist integriert in ein Gestell aus Aluminiumprofil. Dieses dient als Plattform für den Rezipienten mit Turbopumpe, Vorpumpe und Elektronikeinschub. Der Rezipient besteht aus nichtrostendem Stahl und wird inwendig elektropoliert. Beim Beladen und Entladen wird jeweils die ganze Bestückungsform ausgetauscht.